300mm 全自动晶圆撕金机
(AMR-4000A)
特性
- 用胶带去除金属，节省后续製程的溶剂湿製程。(与湿製程相比，时间减少50%)
- 利用胶带撕除晶圆表面的金属，有效地去除并回收(回收率80~90%)。
- 透过滚轮装置贴膜于晶圆上，再依所设定之速度及角度，撕除晶圆上的金属。
(可自行参数设定)
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sales2024-08-12 15:18:472024-08-26 17:34:18200mm 全自动晶圆撕金机(AMR-2200G)
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sales2024-08-12 12:00:212024-08-26 17:34:25300mm 全自动晶圆撕金机 (AMR-4000A)