切割/晶圓研磨機台主軸
可滿足各類切割機、研磨機之需求，主軸安裝形式有:
刀夾式、龍門式和圓柱體懸臂式，也可由客製化以滿足不同需要。
低振動小於 0.1mm/sec尤其在薄晶圓或易碎材料。
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