半自动真空室晶圆贴片机

(SAM-12)

特性

  1. 非接触式工作盘,边缘3mm处吸住晶圆。(不需吸真空来吸住晶圆片)
  2. 透过一个真空室系统的可在较小的应力,防止晶圆上有气泡或损坏。
  3. 张力控制尽可能让所有类型的胶带,可以达到后端处理要求。
  4. 自动化胶带供应,胶带回收;剩馀胶带回收,及胶带切割。(适用UV胶
    带)
  5. 可适用在THIN WAFER上。

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