晶圆量测设备
Model name : MFM-3500
特性
- 操作过程简单，降低培训成本。手动放置测试对象，机器自动定位、测量并输出报告。
- 多孔陶瓷夹具完全贴合测试对象。
- 花岗岩基座配合气浮隔振台，有效隔离高频振动，将机器振动的影响降至最低。
- 高精度移动电机。防尘罩设计适用于无尘室环境。
- 连接管理 SECS/GEM (选配)。
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