200mm 全自动晶圆环切

(AR6100RR)

特性

晶圆环切设备是一种全新的系统。是在现有全自动机型AR9000 上,增加解胶取环传送机械手、UV 照射、取环、废料环传送机械手、废料环收集。可以实现环切16 片/ 小时以上的高效率生产和稳定的取环。 利用该设备可以将TAIKO 製程下晶圆通过环切、清洗、解胶、取环等步骤,将TAIKO 製程下的晶圆外环全自动去除。

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