8英吋全自動晶圓環切
(AR6100RR)
特性
晶圓環切設備是一種全新的系統。是在現有全自動機型AR9000 上，增加解膠取環傳送機械手、UV 照射、取環、廢料環傳送機械手、廢料環收集。可以實現環切16 片/ 小時以上的高效率生產和穩定的取環。 利用該設備可以將TAIKO 製程下晶圓通過環切、清洗、解膠、取環等步驟，將TAIKO 製程下的晶圓外環全自動去除。
- 四相位設計確保高加工效率
- 穩定的TAIKO外環去膠與移除製程
- 高度相容於各類關鍵耗材
- 多軸同步環切技術確保切割精度
- 全流程自動化，大幅降低人力成本
功能
- 環落檢測功能
- 工作台自動清潔功能
- 智慧型UV去膠系統
- 操作紀錄功能
- 功能性工廠自動化模組
- 搬送碰撞檢測功能
- 真空警報與管線除溼功能
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sales2026-10-29 14:56:522026-10-29 14:57:26全自動減薄拋光貼膜一體機(JTA9612)
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sales2026-10-29 11:24:572026-10-29 11:25:52300mm半自動研磨機(AG7500)
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sales2026-10-29 10:27:262026-10-29 15:07:09300mm全自動研磨機(AG9500)
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sales2026-10-22 11:21:202026-10-22 11:41:39全自動 PANEL-SAW 切割分選一體機 (ARP9100)
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sales2026-10-21 14:33:412026-10-22 09:28:1312英吋全自動晶圓環切(AR9000RR)
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sales2024-08-12 16:07:202026-10-22 16:58:05200mm全自動研磨機(AG6800)
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sales2024-08-12 16:01:142026-10-22 10:14:27全自動 JIN-SAW 切割分選一體機 (JDV9230)
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sales2024-08-12 15:27:592026-10-22 09:29:008英吋全自動晶圓環切(AR6100RR)
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