200mm全自動晶圓撕片機

(ATRM-22400TKUV)

特性

  1. 跟先前機台比,體積約小一半。
  2. 內建紫外線照射機。
  3. 背面非接觸撕除可適用在Taiko製程上。
  4. 180度撕除可更穩定。

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