300mm 晶圓撕片機
(ATRM-4000A)
特性
- 可撕除12吋晶圓上的保護膠帶。
- 提籃和工作區分開通過可節省空間。
- 維持晶圓片在無壓力下撕除膠帶。
- 交互模式使得操作更簡便。
- FOUP 提籃, AGV and OHT 結合, 內建UV機。 (選配)
規格表
| Item | ATRM-4000A |
| Throughput | 70 wafer/h (Depend on data setting) |
| Wafer Size | 8″, 12″ |
| Tape Width | 8″: 50~75mm; 12″: 75~100mm |
| Utilities – Power | AC100V Single phase 50/60Hz 2.5 KVA |
| Utilities – Air | Pressure 0.4Mpa 100N1/min(ANR) |
| Utilities – Vacuum sourse | ~74Kpa |
| Dimensions | D1,625 X W1,350 X H1,800 mm |
| Weight | 600kg |
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sales2016-11-02 16:04:212019-04-24 16:24:47300MM 晶圓撕片機 (ATRM-4000A)
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sales2016-11-02 15:59:232019-04-24 16:25:05200MM 晶圓撕片機 (ATRM-2300)