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主轴/ 刀夹
切割/晶圆研磨机台主轴
可满足各类切割机、研磨机之需求,主轴安装形式有:
刀夹式、龙门式和圆柱体悬臂式,也可由客制化以满足不同需要。
低振动 < 0.1mm/sec, 尤其在薄晶圆或易碎材料。 [/av_textblock] [/av_one_half]
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