200mm全自动晶圆撕片机
(ATRM-22400TKUV)
特性
- 跟先前机台比，体积约小一半。
- 内建紫外线照射机。
- 背面非接触撕除可适用在Taiko製程上。
- 180度撕除可更稳定。
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sales2024-06-13 17:11:092024-08-26 17:34:43200mm全自动晶圆撕片机(ATRM-22400TKUV)
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sales2016-11-02 16:04:212024-08-23 10:46:53300MM 晶圆撕片机 (ATRM-4000A)
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sales2016-11-02 15:59:232024-08-20 15:34:26200MM 晶圆撕片机 (ATRM-2300)