300MM 晶圆撕片机
(ATRM-4000A)
特性
- 可撕除12吋晶圆上的保护胶带。
- 提篮和工作区分开通过可节省空间。
- 维持晶圆片在无压力下撕除胶带。
- 交互模式使得操作更简便。
- FOUP 提篮, AGV and OHT 结合, 内建UV机。 (选配)
规格表
Item | ATRM-4000A |
Throughput | 70 wafer/h (Depend on data setting) |
Wafer Size | 8″, 12″ |
Tape Width | 8″: 50~75mm; 12″: 75~100mm |
Utilities – Power | AC100V Single phase 50/60Hz 2.5 KVA |
Utilities – Air | Pressure 0.4Mpa 100N1/min(ANR) |
Utilities – Vacuum sourse | ~74Kpa |
Dimensions | D1,625 X W1,350 X H1,800 mm |
Weight | 600kg |