200mm 全自動晶圓環切

(AR6100RR)

特性

晶圓環切設備是一種全新的系統。是在現有全自動機型AR9000 上,增加解膠取環傳送機械手、UV 照射、取環、廢料環傳送機械手、廢料環收集。可以實現環切16 片/ 小時以上的高效率生產和穩定的取環。 利用該設備可以將TAIKO 製程下晶圓通過環切、清洗、解膠、取環等步驟,將TAIKO 製程下的晶圓外環全自動去除。

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