FOUP清洗机

(TCL-FS3000)

特性

可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes及其他可装载于专用清洗篮之製品。使用电动马达驱动,旋乾製程中除IR乾燥外,独家运用气流乾燥,增进乾燥效果;进而提升效率。另具备独家停机自动归位功能,方便装载清洗製品。

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