紫外线照射机 (TUV-300系列) – 東洋技術股份有限公司

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紫外线照射机

( TUV-300 系列)

特性

數位控制系统: LED显示器操控狀态。依产品条件调整所需照射时间(调整范围:0.1sec-999.9m)
产品治具依數位控制系统自动进出运作，可手动及自动控制。
定位控制系统: 对象未到达定位时无法实施操控。
保护警示功能: a. UV照射完成后蜂鸣提示。
b. 紧急停止开关。
散热方式: a. 磁浮式排风系统。
b. 氮气冷却系统: 内建氮气通路可加强UV照射效果。
其他机台整体功能: a. 累时器显示灯管使用时數。b. 抗UV窗口: 显示灯管操作狀态。c. 灯源照射方向: 由下而上实施照射。d. 灯管快速更换系统: 不需关机可快速方便更换灯管。

規格表

Item	TUV-300HL (LED TYPE)
Wafer & Frame Size	6″~12″
Power Application	AC 100V~110V 50/60HZ
Power Consumptiom	1.1KW
Light Source	Bottom
Wavelength(nm)	365
LED Light Power(w/pcs)	4 ; total 224pcs
UHP(pcs/h)	More than 100pcs/h *excluding operator placing wafer
Dimensions	750 X 175 X 600 mm
Weight	40kg

TUV-300HL (LED TYPE)选配项目

-玻璃TRAY

-6” 8” 12”共享TRAY

-可客制化LED灯盘

-UV量测器

規格表

Item	TUV-300U
Wafer & Frame Size	6″~12″
Power Application	AC 100V~110V 50/60HZ
Power Consumptiom	300W
Light Source	Top
Wavelength(nm)	300~400nm (98%), 400~450nm (2%)
Light Power(w)	36
UHP(pcs/h)	More than 60pcs/h excluding operator placing wafer Test condition: 500m/j ㎝² (365nm)
Dimensions	750 X 175 X 600 mm
Weight	45kg

TUV-300U选配项目

-玻璃TRAY

-6” 8” 12”共享TRAY

-UV灯管

-UV量测器

規格表

Item	TUV-300H
Wafer & Frame Size	6″~12″
Power Application	AC 100V~110V 50/60HZ
Power Consumptiom	300W
Light Source	Bottom
Wavelength(nm)	300~400nm (98%), 400~450nm (2%)
Light Power(w)	36
UHP(pcs/h)	More than 60pcs/h excluding operator placing wafer Test condition: 500m/j ㎝² (365nm)
Dimensions	750 X 175 X 600 mm
Weight	40kg

TUV-300H选配项目

-玻璃TRAY

-6” 8” 12”共享TRAY

-UV灯管

-UV量测器

規格表

Item	TUV-300DP
Wafer & Frame Size	6″~12″
Power Application	AC 100V~110V 50/60HZ
Power Consumptiom	550W
Light Source	Top and Bottom
Wavelength(nm)	300~400nm (98%), 400~450nm (2%)
Light Power(w)	36
UHP(pcs/h)	More than 60pcs/h excluding operator placing wafer Test condition: 500m/j ㎝² (365nm)
Dimensions	750 X 175 X 700 mm
Weight	45kg

TUV-300DP选配项目

-玻璃TRAY

-6” 8” 12”共享TRAY

-UV灯管

-UV量测器

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