晶圆清洗机
(CL 系列)
特性
- 内建真空产生器与自动排水装置。
- 使用二流体喷嘴加强洗净效果。
- 可选用纯氮气式的清洗吹干流程。
- 程控器可加中/英文显示板。
- 可清洗6”~12”芯片，并可依用户需求提供非标准工作盘。
- 可提供各式清洗应用模式–>2012新款，三喷头洗净方式。
规格表
| Specification | CL6801 | CL1201 |
| 工作物尺寸 (mm) | 6″~8″ | 6″~12″ |
| 适用Frame尺寸 (mm) | 2-6 2-6-1 2-8-1 | 2-6-1 2-8-1 2-10-1 2-12-1 |
| 高压净水压力 (Mpa) | 2~12 | 2~12 |
| 真空吸盘(供电)转数 (mm/rpm) | 0~3000 rpm/Max. | 0~3000 rpm/Max. |
| 效能 – 电源供应 | AC110 / 220 V | AC110 / 220 V |
| 效能 – 气压量 (kgf/cm²+G) | 6 | 6 |
| 效能 – 最大气流量 (L/min(ANR) | Max. 100 | Max. 150 |
| 效能 – 水压量 (kgf/cm²L) | 2~3 | 2~3 |
| 效能 – 最大水流量 (L/min) | Max. 10 | Max. 15 |
| 效能 – 氮气压力 (kgf/cm²+G) | 4~5 | 4~5 |
| 效能 – 最大氮气流量 (L/min(ANR)) | Max. 100 | Max. 150 |
| 效能 – 最小吸风量 (m³/min) | Min. 5.0 | Min. 5.0 |
| Dimensions (mm) | 850 x 450 x 1200 | 850 x 550 x 1200 |
| Weight (kg) | 90 | 120 |
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