伺服马达扩片机 (TAE系列) – 東洋技術股份有限公司

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伺服马达扩片机

(TAE 系列)

特性

人机界面:可依客户不同扩张需求设定其参数，接口中也可清楚了解扩张过程，并便于显示各项数据数据(如:产品完成统计。)
伺服马达:与其他厂商机台不同，本设备之平台上升及下降皆使用高精密螺杆和伺服马达来操作，可精确控制平台上升及下降的高度和速度。
参数设定:可自行设定平台上升及下降的高度、速度，最多可储存十组参数，以供不同产品之需求。
旋刀式切割。
光感应装置:其功能可在铁框及上盖未完全定位时，其后续动作皆无法作动，以降低因人为而导致产品损失之外，也可预防不当人为操作而受伤。

扩片机规格表

Specification	TAE-T4-6 TAE-T5-6 TAE-T6-6	TAE-T7-8 TAE-T8S-8	TAE-T12-12
晶圆尺寸	4″~6″	4″~8″	4″~12″
铁框尺寸	6″	8″	12″
扩张环尺寸	T4/T5/T6	T7/T8S	T12
机台尺寸 (mm)	W500 ×L700 ×H500	W500 ×L700 ×H500	W500 ×L700 ×H500

◎ 可客制化机台规格

扩张环规格表

Double ring ITEM	内圈内径/外径 (mm)	外圈内径/外径 (mm)	适用晶圆
T-4	123/129	129/134	4″
T-5	140/146	146/152	5″
T-6	170/178	178/186	6″
T-7	195/203	203/210	7″
T-8S	225/233	233/241	8″
T12	325/335	335/345	12″

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