300MM 全自动紫外线解胶机
(TUV-12)
特性
- 工作物会随着UV移动尽可能让所有范围都照射到。
- 设定的光量可以通过转移的速度在紫外线照射的部分进行。本机具有自动光量侦测模式。
- 容易更换灯泡: 可以将机器主框架滑动到前方更换灯泡。
规格表
| Item | TUV-12 |
| Throughput | 90 wafers/h (UV time excluded) |
| Frame Size | 8″, 12″ |
| UV Irradiance | 100~600mj/cm2 |
| Utilities – Power | AC200V Three phase 60Hz 50A |
| Utilities – Air | 0.4-0.5Mpa |
| Dimensions | D1,340 X W1,760 X H1,570 mm |
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bouncin
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bouncin2016-10-24 17:59:442019-04-24 16:18:04300MM 全自动紫外线解胶机 (TUV-12)