300mm 全自動紫外線解膠機
(TUV-12)
特性
- 工作物會隨著UV移動盡可能讓所有範圍都照射到。
- 設定的光量可以通過轉移的速度在紫外線照射的部分進行。本機具有自動光量偵測模式。
- 容易更換燈泡: 可以將機器主框架滑動到前方更換燈泡。
規格表
| Item | TUV-12 |
| Throughput | 90 wafers/h (UV time excluded) |
| Frame Size | 8″, 12″ |
| UV Irradiance | 100~600mj/cm2 |
| Utilities – Power | AC200V Three phase 60Hz 50A |
| Utilities – Air | 0.4-0.5Mpa |
| Dimensions | D1,340 X W1,760 X H1,570 mm |
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bouncin
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bouncin2016-10-24 17:59:442019-04-24 16:31:19300MM 全自動紫外線解膠機 (TUV-12)