全自動減薄拋光貼膜一體機

(JTA9612)

優勢

  • TTV穩定實現小於 1.5 μm
  • 全流程自動超精密減薄與貼模作業
  • 穩定可靠,破片率低於1/10,000

特點

  • 主軸進給式磨削加工,加工精度高
  • 採用乾式拋光,操作簡便效率高
  • 便捷的操作與人機介面
  • 採用精密進口滾珠螺桿、直線導軌與高精度電機進行Z向控制;最小分辨率達 0.1 μm/s
  • 高剛性氣浮主軸與高精度承片組件結合測厚儀,保證整體加工穩定可靠
  • 減薄、拋光與貼膜流程全自動化,顯著降低人力成本

功能

  • 操作日記記錄
  • 8-12英吋晶圓等材料兼容
  • 實時高精度接觸式晶圓測厚
  • 主軸水冷系統
  • 全自動模式
  • 工廠自動化模塊

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