300mm全自動研磨機

(AG9500)

優勢

  • 支持天車系統
  • 兼容半自動異形產品傳輸
  • 配套工藝解決方案
  • 成熟穩定的加工製程
  • 進給主軸式高精度研磨
  • 操作便利的人機介面
  • Z軸採用精密進口滾珠螺桿、線性導軌與高精度馬達控制,最小解析度達0.1 μm/s
  • 採用高剛性氣浮主軸、高可靠性與高運動精度之承載平台組件,並配備高精度厚度量測儀,確保整體製程穩定與可靠

功能

  • 操作紀錄功能
  • 相容4~12吋晶圓
  • 即時高精度接觸式晶圓厚度量測
  • 主軸水冷系統
  • 全自動/半自動模式可切換

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