伺服馬達擴片機
(TAE系列)
特性
- 人機介面:可依客戶不同擴張需求設定其參數，介面中也可清楚了解擴張過程，並便於顯示各項數據資料(如:產品完成統計。)
- 伺服馬達:與其他廠商機台不同，本設備之平台上升及下降皆使用高精密螺桿和伺服馬達來操作，可精確控制平台上升及下降的高度和速度。
- 參數設定:可自行設定平台上升及下降的高度、速度，最多可儲存十組參數，以供不同產品之需求。
- 旋刀式切割。
- 光感應裝置:其功能可在鐵框及上蓋未完全定位時，其後續動作皆無法作動，以降低因人為而導致產品損失之外，也可預防不當人為操作而受傷。
擴片機規格表
| 型號 | TAE-T4-6 TAE-T5-6 TAE-T6-6 | TAE-T7-8 TAE-T8S-8 | TAE-T12-12 |
| 晶圓尺寸 | 4″~6″ | 4″~8″ | 4″~12″ |
| 鐵框尺寸 | 6″ | 8″ | 12″ |
| 擴張環尺寸 | T4/T5/T6 | T7/T8S | T12 |
| 機台尺寸 (mm) | W500 ×L700 ×H500 | W500 ×L700 ×H500 | W500 ×L700 ×H500 |
◎ 可客製化機台規格
擴張環規格表
| 擴張環型號 | 內圈內徑/外徑 (mm) | 外圈內徑/外徑 (mm) | 適用晶圓 |
| T-4 | 123/129 | 129/134 | 4″ |
| T-5 | 140/146 | 146/152 | 5″ |
| T-6 | 170/178 | 178/186 | 6″ |
| T-7 | 195/203 | 203/210 | 7″ |
| T-8S | 225/233 | 233/241 | 8″ |
| T12 | 325/335 | 335/345 | 12″ |
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