紫外線照射機 (TUV-300系列) – 東洋技術股份有限公司

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紫外線照射機

(TUV-300系列)

特性

人機介面系統 : 7吋的人機顯示器，依產品條件調整所需照射時間(調整範圍:0.1sec-999.9m)產品治具依人機數位控制系統自動進出運作，可手動及全自動控制。
定位控制系統: 物件未到達定位時無法實施操控。
保護警示功能: a. UV照射完成後蜂鳴提示。
b. 緊急停止開關。
散熱方式: a. 磁浮式排風系統。
b. 氮氣冷卻系統: 內建氮氣通路可加強UV照射效果。
其他機台整體功能: a. 累時器顯示燈管使用時數。
b. 抗UV視窗: 顯示燈管操作狀態。
c. 燈源照射方向: 由下而上實施照射。
d. 燈管快速更換系統: 不需關機可快速方便更換燈管。

規格表

Item	TUV-300HL (LED TYPE)
Wafer & Frame Size	6″~12″
Power Application	AC 100V~110V 50/60HZ
Power Consumptiom	1.1KW
Light Source	Bottom
Wavelength(nm)	365
LED Light Power(w/pcs)	4 ; total 224pcs
UHP(pcs/h)	More than 100pcs/h *excluding operator placing wafer
Dimensions	750 X 175 X 600 mm
Weight	40kg

TUV-300HL (LED TYPE)選配項目

-玻璃TRAY

-6” 8” 12”共用TRAY

-可客製化LED燈盤

-UV量測器

規格表

Item	TUV-300U
Wafer & Frame Size	6″~12″
Power Application	AC 100V~110V 50/60HZ
Power Consumptiom	300W
Light Source	Top
Wavelength(nm)	300~400nm (98%), 400~450nm (2%)
Light Power(w)	36
UHP(pcs/h)	More than 60pcs/h excluding operator placing wafer Test condition: 500m/j ㎝² (365nm)
Dimensions	750 X 175 X 600 mm
Weight	45kg

TUV-300U選配項目

-玻璃TRAY

-6” 8” 12”共用TRAY

-UV燈管

-UV量測器

規格表

Item	TUV-300H
Wafer & Frame Size	6″~12″
Power Application	AC 100V~110V 50/60HZ
Power Consumptiom	300W
Light Source	Bottom
Wavelength(nm)	300~400nm (98%), 400~450nm (2%)
Light Power(w)	36
UHP(pcs/h)	More than 60pcs/h excluding operator placing wafer Test condition: 500m/j ㎝² (365nm)
Dimensions	750 X 175 X 600 mm
Weight	40kg

TUV-300H 選配項目

-玻璃TRAY

-6” 8” 12”共用TRAY

-UV燈管

-UV量測器

規格表

Item	TUV-300DP
Wafer & Frame Size	6″~12″
Power Application	AC 100V~110V 50/60HZ
Power Consumptiom	550W
Light Source	Top and Bottom
Wavelength(nm)	300~400nm (98%), 400~450nm (2%)
Light Power(w)	36
UHP(pcs/h)	More than 60pcs/h excluding operator placing wafer Test condition: 500m/j ㎝² (365nm)
Dimensions	750 X 175 X 700 mm
Weight	45kg

TUV-300DP 選配項目

-玻璃TRAY

-6” 8” 12”共用TRAY

-UV燈管

-UV量測器

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