300MM 全自动晶圆贴片机
(TEAM-300)
特性
- 适用各种胶带。
- 可使用DRF胶带在wet resist process。
- 可用小于晶圆表面的胶带与面积板电极的晶片暴露边缘部分。
- 在真空室贴合胶带可减少气泡和破片的发生。
- 在无压力下贴合胶带。
- 可选配清洗功能。
規格表
Item | TEAM-300 |
Throughput | Depending on film type and using conditions. |
Wafer Size | 12″, 8″(option) |
Film Width | 12″ 330mm width |
Utilities – Power | AC200V Three phase 50/60Hz |
Utilities – Air | Pressure 0.5-0.8Mpa 400N1/min |
Dimensions | D2,250 X W2,100 X H2,300 mm |
Weight | 1,200kg |