300MM 全自动晶圆保护胶带贴片机
(ATM-3100A)
特性
- 可在加热辊轴和工作台上黏贴胶带。
- 最佳粘贴胶带条件可以依各种材料设定。
- 胶带的张力控制可以透过系统拉伸贴合。
- 适用于8寸和12寸的晶圆。
- FOUP opener(option)
- 生产能力:70片/小时(这取决于粘贴条件。)
规格表
Item | ATM-3100A |
Wafer Size | 8″, 12″ |
Film Width | 8″: 230mm width; 12″: 330mm width |
Utilities – Power | AC200V Single phase 50/60Hz 3.0 KVA |
Utilities – Air | 0.6-0.8Mpa 100L/min(ANR) |
Utilities – Vacuum sourse | ~74Kpa |
Dimensions | D1,450 X W1,650 X H2,020 mm |
Weight | 600kg |