300MM 全自动晶圆保护胶带贴片机

(ATM-3100A)

特性

  1. 可在加热辊轴和工作台上黏贴胶带。
  2. 最佳粘贴胶带条件可以依各种材料设定。
  3. 胶带的张力控制可以透过系统拉伸贴合。
  4. 适用于8寸和12寸的晶圆。
  5. FOUP opener(option)
  6. 生产能力:70片/小时(这取决于粘贴条件。)

规格表

Item
ATM-3100A
Wafer Size
8″, 12″
Film Width8″: 230mm width; 12″: 330mm width
Utilities – Power

AC200V Single phase 50/60Hz 3.0 KVA
Utilities – Air

0.6-0.8Mpa 100L/min(ANR)
Utilities – Vacuum sourse~74Kpa
Dimensions
D1,450 X W1,650 X H2,020 mm
Weight
600kg

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