FOUP清洗机
(TCL-FS3000)
特性
- 可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes及其他可装载于专用清洗篮之制品。
- 伺服马达驱动,设有扭力侦测安全机构，防止人为误操作造成损坏及危险。
- 具备停机自动归位功能，方便装载清洗制品(独家技术)。
- 旋干制程中除IR干燥外，独家运用气流干燥，可加速去除较大水滴，增进干燥效果; 进而提升效率。
规格表
| Model | TCL-FS3000 |
| Clean Product | FOUP/FOSB/RSP/Cassettes |
| Power | AC220/380V 3Phase 50/60Hz 20Kw |
| Air | 0.6~0.8Mpa 100L/min |
| Dimensions (mm) | D1450 x W1400 x H2310 |
| Weight (kg) | 1200 |
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