FOUP清洗機
(TCL-FS3000)
特性
- 可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes及其他可裝載於專用清洗籃之製品。
- 伺服馬達驅動,設有扭力偵測安全機構，防止人為誤操作造成損壞及危險。
- 具備停機自動歸位功能，方便裝載清洗製品(獨家技術)。
- 旋乾製程中除IR乾燥外，獨家運用氣流乾燥，可加速去除較大水滴，增進乾燥效果; 進而提升效率。
規格表
| Model | TCL-FS3000 |
| Clean Product | FOUP/FOSB/RSP/Cassettes |
| Power | AC220/380V 3Phase 50/60Hz 20Kw |
| Air | 0.6~0.8Mpa 100L/min |
| Dimensions (mm) | D1450 x W1400 x H2310 |
| Weight (kg) | 1200 |
https://www.toyo-adtec.com.tw/wp-content/uploads/2016/11/IMGP2018去背-1.jpg
1276
1701
sales
https://www.toyo-adtec.com.tw/wp-content/uploads/2016/10/LOGO-有Slogan-左-暗藍-01.png
sales2016-11-03 11:28:402021-03-15 15:47:35紫外線照射機 (TUV-300系列)
https://www.toyo-adtec.com.tw/wp-content/uploads/2016/11/擴片機-2017.jpg
630
567
sales
https://www.toyo-adtec.com.tw/wp-content/uploads/2016/10/LOGO-有Slogan-左-暗藍-01.png
sales2016-11-03 11:03:002019-04-24 16:22:45伺服馬達擴片機 (TAE系列)
https://www.toyo-adtec.com.tw/wp-content/uploads/2016/11/IMAG0132.jpg
800
800
sales
https://www.toyo-adtec.com.tw/wp-content/uploads/2016/10/LOGO-有Slogan-左-暗藍-01.png
sales2016-11-03 10:35:082019-04-24 16:23:06晶圓清洗機 (CL系列)
https://www.toyo-adtec.com.tw/wp-content/uploads/2016/11/TAM-6800.jpg
448
336
sales
https://www.toyo-adtec.com.tw/wp-content/uploads/2016/10/LOGO-有Slogan-左-暗藍-01.png
sales2016-11-02 16:51:542019-04-24 16:24:26晶圓貼片機 (TAM系列)