FOUP清洗機

(TCL-FS3000)

特性

可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes及其他可裝載於專用清洗籃之製品。使用電動馬達驅動,旋乾製程中除IR乾燥外,獨家運用氣流乾燥,增進乾燥效果;進而提升效率。另具備獨家停機自動歸位功能,方便裝載清洗製品。

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