晶圓清洗機
(CL系列)
特性
- 內建真空產生器與自動排水裝置。
- 使用二流體噴嘴加強洗淨效果。
- 可選用純氮氣式的清洗吹乾流程。
- 程式控制器可加中/英文顯示板。
- 可清洗6”~12”晶片，並可依使用者需求提供非標準工作盤。
- 可提供各式清洗應用模式–>2012新款，三噴頭洗淨方式
規格表
| 型號 | CL6801 | CL1201 |
| 工作物尺寸 (mm) | 6″~8″ | 6″~12″ |
| 適用Frame尺寸 (mm) | 2-6 2-6-1 2-8-1 | 2-6-1 2-8-1 2-10-1 2-12-1 |
| 高壓淨水壓力 (Mpa) | 2~12 | 2~12 |
| 真空吸盤(供電)轉數 (mm/rpm) | 0~3000 rpm/Max. | 0~3000 rpm/Max. |
| 效能 – 電源供應 | AC110 / 220 V | AC110 / 220 V |
| 效能 – 氣壓量 (kgf/cm²+G) | 6 | 6 |
| 效能 – 最大氣流量 (L/min(ANR) | Max. 100 | Max. 150 |
| 效能 – 水壓量 (kgf/cm²L) | 2~3 | 2~3 |
| 效能 – 最大水流量 (L/min) | Max. 10 | Max. 15 |
| 效能 – 氮氣壓力 (kgf/cm²+G) | 4~5 | 4~5 |
| 效能 – 最大氮氣流量 (L/min(ANR)) | Max. 100 | Max. 150 |
| 效能 – 最小吸風量 (m³/min) | Min. 5.0 | Min. 5.0 |
| Dimensions (mm) | 850 x 450 x 1200 | 850 x 550 x 1200 |
| Weight (kg) | 90 | 120 |
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