300mm 全自動晶圓保護膠帶貼片機
(ATM-3100A)
特性
- 可在加熱滾軸和工作台上貼黏膠帶。
- 最佳貼黏膠帶條件可以依各種膠帶設定。
- 膠帶的張力控制可以透過系統拉伸貼合。
- 適用於8吋和12吋的晶圓。
- FOUP opener(option)
- 生產能力：70片/小時（這取決於貼黏條件。）
規格表
| Item | ATM-3100A |
| Wafer Size | 8″, 12″ |
| Film Width | 8″: 230mm width; 12″: 330mm width |
| Utilities – Power | AC200V Single phase 50/60Hz 3.0 KVA |
| Utilities – Air | 0.6-0.8Mpa 100L/min(ANR) |
| Utilities – Vacuum sourse | ~74Kpa |
| Dimensions | D1,450 X W1,650 X H2,020 mm |
| Weight | 600kg |
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sales
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sales2017-02-07 14:57:512019-11-27 16:36:05200MM 全自動晶圓貼片機 (ATM-1100K)
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sales2016-11-02 14:43:382019-04-24 16:30:58200MM 全自動真空晶圓貼片機 (TEAM-100ARF)