200mm 晶圓全自動貼片機
(ATM-8200)
特性
- 全世界佔用空間最小的晶圓貼片機。
- 由於使用超薄滾筒層且有真空室所以產品無損傷、氣泡。
- 張力控制盡可能讓所有類型的膠帶,可以達到後端處理要求。
- 可適用在THIN WAFER上。
規格表
Item | ATM-8200 |
Throughput | 95 wafers/h (Depend on data setting) |
Wafer Size | 4″, 5″, 6″, 8″ |
Frame Size | 6″, 8″ |
Film Width | 6″: 230mm; 8″: 300mm |
Accuracy in Positioning Wafer | ±0.5mm in X-Y direction and ±0.5mm in θangle (against frame) |
Utilities – Power | AC100V Single phase 50/60Hz 2.0 KVA |
Utilities – Air | Pressure 0.5Mpa 300N1/min |
Utilities – Vacuum sourse | Using venturi valus |
Dimensions | D1,150 X W1,330 X H1,800 mm |
Weight | 700kg |