200MM 晶圆全自动贴片机
(ATM-8200)
特性
- 全世界占用空间最小的晶圆贴片机。
- 由于使用超薄滚筒层且有真空室所以产品无损坏、气泡。
- 张力控制尽可能让所有类型的胶带,可以达到后端处理要求。
- 可适用在THIN WAFER上。
规格表
Item | ATM-8200 |
Throughput | 95 wafers/h (Depend on data setting) |
Wafer Size | 4″, 5″, 6″, 8″ |
Frame Size | 6″, 8″ |
Film Width | 6″: 230mm; 8″: 300mm |
Accuracy in Positioning Wafer | ±0.5mm in X-Y direction and ±0.5mm in θangle (against frame) |
Utilities – Power | AC100V Single phase 50/60Hz 2.0 KVA |
Utilities – Air | Pressure 0.5Mpa 300N1/min |
Utilities – Vacuum sourse | Using venturi valus |
Dimensions | D1,150 X W1,330 X H1,800 mm |
Weight | 700kg |